Hallo,
ich darf für mein Studium ein Kurzreferat zum Thema Shrink-Verfahren (Strukturverkleinerung in der Halbleiterherstellung) schreiben. Nun bin ich auf der Suche nach Büchern in denen ich Informationen finde, was es für Verfahren gibt und wie die im Groben funktionieren. Ich hoffe einer von euch kann mir da weiter helfen.
Vielen Dank!
Gruß
Joe
ich darf für mein Studium ein Kurzreferat zum Thema Shrink-Verfahren (Strukturverkleinerung in der Halbleiterherstellung) schreiben. Nun bin ich auf der Suche nach Büchern in denen ich Informationen finde, was es für Verfahren gibt und wie die im Groben funktionieren. Ich hoffe einer von euch kann mir da weiter helfen.
Vielen Dank!
Gruß
Joe